| 1주차 |
Orientation (실험 설명) & Introduction to Lithography |
| 2주차 |
Introduction to Lithography (노광) |
| 3주차 |
Lithography (노광) |
| 4주차 |
Lithography (노광) |
| 5주차 |
Introduction to Semiconductor Analyzer (소자 측정) |
| 6주차 |
Introduction to Semiconductor Analyzer (소자 측정) |
| 7주차 |
Glove Box, Vacuum Oven |
| 8주차 |
Introduction to SEM (SEM measurement example 및 장비 설명) |
| 9주차 |
SEM |
| 10주차 |
Introduction to AFM (AFM measurement example 및 장비 설명) |
| 11주차 |
AFM (Contact mode) |
| 12주차 |
AFM (Contact mode) |
| 13주차 |
AFM (Non-contact mode) |
| 14주차 |
AFM (Non-contact mode) |
| 15주차 |
기말고사 |
| 16주차 |
|