강의계획서

교과목 설명 - 코드, 교과명, 학과, 교수, 과정구분, 전화번호등의 내용
교과목코드 JDB01478 교과목명 나노공정개론
강의학과 물리학과 교수 김성헌
교수소속 물리학과 이수학년 4학년
과목구분 이론 과정구분
이메일 shkim@mju.ac.kr 전화번호
테이블 이름 - 주차 및 주제내용
주차 주제
1주차 Orientation / Ch.1 Introduction to the Semiconductor Industry (LMS 온라인강의)
2주차 Ch.2 Characteristics of Semiconductor Materials (LMS 온라인강의)
3주차 Ch.3 Device Technology (LMS 온라인강의)
4주차 Ch.4 Silicon and Wafer Preparation / Ch.6 Contamination Control (LMS 온라인강의)
5주차 Ch.7 Metrology and Defect Inspection (LMS 온라인강의)
6주차 Ch.8 Gas Control / Ch.9 IC Fabrication Process Overview (LMS 온라인강의)
7주차 Ch.10 Oxidation (LMS 온라인강의)
8주차 중간시험 (대면 또는 온라인)
9주차 Ch.11 Deposition (LMS 온라인강의)
10주차 Ch.12 Metallization (LMS 온라인강의)
11주차 Ch.13 Photolithography I (LMS 온라인강의)
12주차 Ch.14 Photolithography II (LMS 온라인강의)
13주차 Ch.15 Photolithography III (LMS 온라인강의)
14주차 Ch. 16 Etch / Ch.17 Ion Implant (LMS 온라인강의)
15주차 기말시험 (대면 또는 온라인)
16주차